E-Profiler의 AI는 무엇을 보고, 사람에게 어떻게 배우고, 이미지에서 무엇을 찾아, 어떻게 수치로 바꾸는가
AI가 칠한 엣지 영역 —
이 경계의 폭을 잰다
장비가 찍은 웨이퍼 둘레 사진. 장비마다 다르게 찍혀 방향·크기부터 맞춤.
엔지니어가 다각형으로 칠하고 브러시·지우개로 다듬은 '정답 마스크'.
정답과 예측의 차이가 줄도록 모델 일부를 조금씩 조정.
새 이미지에서 목표 영역 경계를 픽셀 단위로 칠함.
칠한 영역의 폭을 재고, 웨이퍼 위치별로 모아 그래프로.
A
B
C
D
사진 한 장에 이름표 하나. E-Profiler에서는 알려진 결함 유형 판별 (EfficientNet / EVA).

대상의 위치를 상자로 표시. 작고 흐린 미세 결함 후보를 찾는 역할 (YOLO 계열).

픽셀마다 '목표 영역인가?'를 0/1로 칠함. 경계가 정확해야 폭·두께 계측이 가능 → 오늘의 주인공 (SAM2 계열).
예측 마스크를 그대로 학습 샘플로 저장 (accept_pred).
'확인이 필요한 프레임' 목록에 올림 → 다각형·브러시·지우개로 고친 뒤 '수정 저장'.
판단이 어려운 프레임은 학습 샘플에서 뺄 수 있음.
사람 검증 없는 자동 마스크는 따로 집계. 셀프러닝은 사람 라벨이 충분할 때(화면 기준 20개~)만 가능.
정답 수에 따라 검증용을 따로 떼어 둠. 같은 lot·sequence는 한쪽에만.
2~4개: 겹치지 않게 분리 · 5~9개: 검증 2개 고정 · 10개 이상: 약 20%
Edge Trainer가 실제로 남긴 검증 그림(정답=초록, 예측=빨강). 앱 내장 합성 샘플의 5 step 기록이라 IoU 0.874는 기능 확인용. 제품 성능 아님.

학습 때와 같은 방향·크기 규칙 적용.

중심에서 가로폭의 1/6 오른쪽, 같은 양성점 2개 · 음성점 없음.

SAM2 multimask 출력. 신뢰도 높은 순으로 합치고, 15% 넘게 겹치는 후보는 제외.

5,000px 미만 조각 제거 → 계측으로 전달.
줄마다 마스크의 가장 왼쪽·오른쪽 픽셀 사이 거리를 잼. 위아래 가장자리 30px는 제외, 줄은 고른 간격.
논문: 이미지당 유효 줄 약 30개 · Edge Trainer 기본 50줄 (결정적 간격). 최대−최소 폭은 EBR 이동 같은 불균일 신호. 숫자는 이 그림 속 가상 마스크 기준.
라인 전체 추세를 한눈에.
어느 공정·장비가 튀는지. 클릭 → ④
시간에 따라 값이 어떻게 움직였는지. 점 클릭 → ⑤
그 웨이퍼의 둘레 분포, 선택 → 원본 이미지
엣지·박막 경계를 칠함 → µm 계측. 약 300장 라벨로 미세조정, 약 50장 검증.
알려진 결함 유형 판별. 자신 없는 이미지만 더 큰 EVA로 넘겨 비용 절약.
작고 흐린 이상(100µm 미만 포함)을 상자로 찾음. 약 8,000장 학습.
웨이퍼/로트 트리거로 이미지 가져오기
방향·스케일 맞춤, 위치 키 보존
분할 → 계측, 분류, 탐지
누락·실패를 명시적으로 기록
SQL DB에 위치·버전과 함께
트렌드, 임계값 초과 경보
촬영 누락·추론 실패는 결함 0과 구분해 저장. 평균을 볼 때 몇 장의 뷰로 계산됐는지(커버리지)를 함께 확인.
모든 값은 웨이퍼 위치와 원본 이미지로 연결됨. 웹에서 시계열 → 웨이퍼 플롯 → 이미지로 drill-down.
결과에는 사용한 체크포인트 정보가 남음. 모델이 바뀐 날 전후로 값이 꺾였다면 공정 변화인지 모델 변화인지 구분.
어려운 다층 막질은 정답을 추가하며 단계적으로 보강. 이상한 결과를 발견하면 그 프레임이 다음 라벨 후보.
그리고 그 기준은 엔지니어가 고쳐 준 정답에서 나온다.
질문 받겠습니다